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[真空镀膜] 霍尔离子源镀膜机加装, 实现预清洁 PC, 辅助镀膜 IBAD

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发表于 2018-3-22 11:45:02 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
上海伯东霍尔离子源应用于光学镀膜机加装, 实现预清洁 PC, 辅助镀膜 IBAD
光学镀膜 optics coating, 在现代生产被广泛应用, 例如玻璃镀膜, 镜片镀膜, 显微镜镜片镀膜, 装饰灯罩镀膜都是必不可少的生产工艺. 蒸发镀膜作为一种常见的制程, 比较容易出现膜层不均匀, 或是产品膜层脱落的现象, 使用美国 KRI考夫曼离子源可以有效解决此类问题, 因此美国 KRI 考夫曼霍尔型离子源广泛加装在各类蒸发镀膜机中

离子源辅助镀膜客户案例一: 厦门某光学镀膜企业, 该企业使用日本 Shincron 真空镀膜机, 镀膜腔体约 2 m3  , 镀膜机加装霍尔离子源 EH 4200 起到预清洁 PC及辅助镀膜 IBAD 的作用.
离子源辅助镀膜具体操作, 霍尔离子源预清洁 PC +辅助镀膜 IBAD : 由于膜层表面很光滑,在镀膜时会产生膜层脱落现象, 预清洁就是将膜层表面用大的离子如 Ar 打击表面, 使得制程物能有效的吸附在表面上. 加装KRI霍尔离子源起到预清洁作用, 在预清洁后开启离子源辅助镀膜 IBAD, 膜层厚度均匀性及附着牢固度都明显提高。



上海伯东主营真空品牌: 德国 Pfeiffer 真空设备; 美国 Brooks Polycold 冷冻机; 美国 KRI 考夫曼离子源; 美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机; 日本 NS 离子蚀刻机等。
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶女士                             台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                      F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                   ec@hakuto.com.tw
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