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新柯隆镀膜机配置概览

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发表于 2017-10-28 11:00:59 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
新柯隆镀膜机配置概览


1 蒸发源:

电子枪:JEOL(稳定,价格贵,扫描光斑为方形)

(电压:6KV,10KV;电源:6KW,10KW;电子枪:270 ,180 度;扫描控制器可选)

PLSAMATEC(整流二极管易坏,扫描光斑为圆形)

ORIGIN(便宜,简单稳定,只有单枪 180 度一种型号)


阻蒸:新柯隆自制(6KW 单坩埚,10KW 双坩埚)卤素灯阻蒸(只用于蒸发防水膜)

离子源:新柯隆自制

NIS-120 :口径 120mm,最高电压 1000V,电流 550A,阴极为钨丝

NIS-175 :口径 175mm,最高电压 1200V,电流 1200A,空心阴极

霍尔源,仅在 VISION-1500 型上使用。离子源给气:HORIBA 质量流量计

2 真空机构:

低真空泵:EDWARDS E2W275油泵配EH1200罗茨泵(也有用GV160干泵替换E2W275

油泵的)(泵油每三个月更换一次,)

樫山 MU1203 型干泵(感觉比 EDWORDS 易发生故障)


高真空泵:新柯隆自制油扩散泵(使用 LION-S 油,因为无温度监控,故不建议替换成其他品牌油)(油每六个月更换一次,泵没 1 年维护一次)

爱发科低温泵

EDWORDS、岛津、大阪真空的分子泵

冷冻机:POLYCOLDMAXCOOLTELMARK

真空计:佳能爱内华电离真空计,SMC 皮拉尼真空计

APC 自动压力控制:PCU-2100,INFICON VGC-401 潘宁真空计

新柯隆自制主阀及低阀,辅助阀(气缸为 SMC 特制品)(密封圈每年更换一次)

开度可调慢抽气、慢泄气阀(SMC 特制品,专供新柯隆)


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3 动作机构:

补正板机构:新柯隆自制(密封圈每年更换一次,速度每年检查一次)

伞架旋转机构:新柯隆自制(磁流体密封约 5 年更换一次)

坩埚盘旋转机构:新柯隆自制(点状坩埚及环形坩埚)

蒸发源挡板机构:新柯隆自制(挡板位置和速度每年检查一次)

4 加热机构:

加热丝加热:墙壁加热,镀膜伞加热,光控加热(温度探头固定需每年检查一次)

卤素灯加热:主要用于镀膜伞加热,最高不到 85 度。(卤素灯为耗材)

5 膜厚控制单元:

水晶控制器:INFICON XTC-3(S)(水晶旋转每年检查一次)

光控:系统为新柯隆 SDC 系统(OPM-Z1  分为投光器电源,投光器,光纤,监控玻璃,受光器,OPM-Z1PC-2 电脑几个部
分。由于连接使用的是 RS-232 接口,不支持热插拔,任何连接或者动作后,请重启 OPM-Z1 PC-2

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